Метилсилан — органическое соединение, алкилпроизводное моносилана, воспламеняющийся, бесцветный газ с неприятным запахом, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.
| Метилсилан | |
|---|---|
| Общие | |
| Систематическое наименование |
Метилсилан |
| Хим. формула | CH3-SiH3 |
| Рац. формула | СH6Si |
| Физические свойства | |
| Молярная масса | 46,14 г/моль |
| Плотность | газ 1,93 г/л 0,6277-57 г/см³ |
| Термические свойства | Температура |
| • плавления | -156,8; -157 °C |
| • кипения | -57,5; -56,9 °C |
| Классификация | |
| Рег. номер CAS | 992-94-9 |
| PubChem | 70434 |
| Рег. номер EINECS | 213-598-5 |
| SMILES |
C[SiH3]
|
| InChI |
1S/CH6Si/c1-2/h1-2H3
UIUXUFNYAYAMOE-UHFFFAOYSA-N
|
| ChemSpider | 63613 |
Получение
- Реакцией монохлорсилана с диметилцинком:
- Восстановлением метилтрихлорсилана алюмогидридом лития:
- Реакция диспропорционирования метилдиэтоксисилана:
Физические свойства
Метилсилан — бесцветный газ с неприятным запахом, воспламеняется на воздухе, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.
Химические свойства
- Термическое разложение метилсилана используют для получения плёнок карбида кремния:
- Реагирует с галогенами:
Применение
- Используется в качестве исходного сырья для газофазного осаждения карбида кремния при изготовлении композиционных материаллов, а также в процессе получения фоторезистов и других полупроводниковых материалов.
